塵埃粒子檢測儀器是用于測量潔凈環境中單位體積內塵埃粒子數和粒徑分布的儀器。它可廣泛應用于血液中心、防疫站、疾控中心、質量監督所等機構、電子行業、制藥車間、半導體、光學或精密機械加工、塑膠、噴漆、醫院、環保、檢驗所等生產企業和科研部門。

　　塵埃粒子檢測儀器的測試程序：

　　1.確定采樣點的位置及數量，采樣點應均勻分布于潔凈室(區)的面積內，并應位于工作面高度。

　　2.確定單次最小采樣量與取樣時間。每個采樣點的采樣量應至少為2L，采樣時間應至少為1min，當潔凈室(區)僅有1個采樣點時，在該點應至少采樣3次。METone3445塵埃粒子計數器采樣流量為100L/min，因此單次取樣時間1分鐘時，能滿足測試要求。

　　3.粒子計數器的采樣探頭不得直接置于送風口整下方。當測單向流設施的潔凈度時，采樣頭應對準氣流;當測非單向流時，采樣探頭一律朝上。

　　4.室內測試人員應穿潔凈服，不得超過3人，測試人員應位于測試點的下風側并遠離測試點，并應保持靜止。進行換點操作時，動作要輕，應減少人員對室內潔凈度的干擾。

　　5.當采樣點只有1個或多于9個時，不計算95%置信上限;當采樣點為1個以上10個以下時，除應計算各采樣點的平均值和總平均值外，還應計算計算95%置信上限。

　　6.每個采樣點測得粒子濃度的平均值以及潔凈室總平均值95置信上限均未超過空氣潔凈度等級的濃度限值時，可認為該潔凈室(區)已達到規定的空氣潔凈度等級。

　　塵埃粒子檢測儀器是污染控制的基礎。沒有無塵潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2里面，無塵潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。