潔凈室檢漏通常采用PAO發(fā)生器在濾器上游發(fā)塵，使用光度計(jì)檢測(cè)濾器上下游氣溶膠濃度來(lái)判定濾器是否有泄漏。發(fā)塵的目的是因高效過(guò)濾器上游塵粒濃度較低，僅用粒子計(jì)數(shù)器在不發(fā)塵的情況下檢測(cè)，較難發(fā)現(xiàn)有泄漏，需補(bǔ)充發(fā)塵才能明顯、容易地發(fā)現(xiàn)泄漏。當(dāng)氣流被真空泵抽至光散射室時(shí)，其中的顆粒物質(zhì)散射光線至光電倍增管。在光電倍增管中，光被轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，此信號(hào)經(jīng)放大和數(shù)字化后由微處理器分析，從而測(cè)定散射光的強(qiáng)度。通過(guò)與參比物質(zhì)產(chǎn)生的信號(hào)的對(duì)比，可以直接測(cè)量氣體中顆粒物質(zhì)的質(zhì)量濃度，因此其用途十分廣泛。

　　潔凈室檢漏的測(cè)試方法有：

　　1.DOP法，以光度計(jì)檢測(cè)，不如粒子計(jì)數(shù)法靈敏；

　　2.粒子計(jì)數(shù)法，以粒子計(jì)數(shù)器作為檢測(cè)儀器，使用單分散或多分散氣溶膠，靈敏度高，多用于超高效過(guò)濾器；

　　3.最易穿透粒徑法（MPPS），采用粒子計(jì)數(shù)器作為檢測(cè)儀器，使用的氣溶膠同時(shí)，與粒子計(jì)數(shù)法的區(qū)別是，以過(guò)濾器最易穿透的粒徑作為測(cè)試用粒徑；

　　4.鈉焰法，此法采用火焰光度計(jì)，對(duì)NaCL燃燒的火焰色度作響應(yīng)，靈敏度低，且NaCl對(duì)微電子產(chǎn)品質(zhì)量有害國(guó)外已不用。

　　潔凈室檢漏安裝后的檢漏方法有光度計(jì)法和粒子計(jì)數(shù)器法。光度計(jì)法一般用于帶小型空氣處理系統(tǒng)的潔凈室或安裝有氣溶膠注入點(diǎn)的管路系統(tǒng)，可達(dá)到規(guī)定的高濃度測(cè)試氣溶膠；由于粒子計(jì)數(shù)器法的靈敏性好和污染少，一般都采用粒子計(jì)數(shù)器法進(jìn)行高效空氣過(guò)濾器安裝后的檢漏。